電子サイクロトロン共鳴プラズマ中反応性スパッタリングによるTiO_2薄膜形成におけるイオン照射効果
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概要
著者
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本保 栄治
富山県工業技術センタｰ
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杉原 真次
富山県立大学電子情報工学科
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加藤 祐史
富山県立大学電子情報工学科
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石井 成行
富山県立大学電子情報工学科
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石井 成行
富山県立大学工学部
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本保 栄治
富山県工業技術センター
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