石井 成行 | 富山県立大学電子情報工学科

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• 石井 成行

  富山県立大学電子情報工学科

• 石井 成行

  富山県立大学工学部

• 加藤 裕史

  富山県大・工

• 石井 成行

  富山県大・工

• 加藤 裕史

  富山県立大学工学部

• 本保 栄治

  富山県工業技術センタｰ

• 砂川 道夫

  新明和工業(株)開発セ

• 杉原 真次

  富山県立大学電子情報工学科

• 加藤 祐史

  富山県立大学電子情報工学科

• 谷 二三夫

  新明和工業(株)

• 谷 二三夫

  新明和工業(株)開発セ

• 若土 雅之

  富山県立大学工学部

• 本保 栄治

  富山県工業技術センター

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著作論文

• 電子サイクロトロン共鳴プラズマ中反応性スパッタリングによるTiO_2薄膜形成におけるイオン照射効果
• 大面積薄膜形成用小型シート状プラズマ源
• ECRイオン源における多価イオン生成と高エネルギー電子成分の効果
• 多価イオンの生成

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