マイクロマシン技術を用いた積層三次元素子

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 2001-03-01

著者

• 佐藤 倬暢

  (株)フジクラ

• 佐藤 倬暢

  (株)フジクラ 電子デバイス研究所

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