静電噴霧法を用いたTa_2O_5薄膜作製におけるCO_2 レーザーによる熱処理の効果
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概要
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- 1999-11-01
著者
-
山田 耕太
東北大学素材工学研究所
-
藤野 威男
東北大学素材工学研究所
-
佐藤 修彰
東北大学 多元物質科学研究所
-
長谷川 淳一
東北大学素材研
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山田 耕太
東北大学 素材工学研究所
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長谷川 淳一
東北大学 素材工学研究所
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藤野 威男
東北大学 素材工学研究所
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