BaCO_3磁石で研磨したシリコンウェーハの表面評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-03-05
著者
-
閔 恩基
住友大阪セメント(株)
-
山本 良貴
住友大阪セメント(株)
-
石塚 ます美
住友大阪セメント(株)
-
木下 暢
住友大阪セメント (株)
-
安永 暢男
東海大工学部
-
木下 暢
住友大阪セメント(株)
関連論文
- BaCO_3メカノケミカル砥石によるシリコンウェーハのドライポリシング
- BaCO_3砥粒によるSiウェハーの研磨機構
- 超微粒BaCO_3パウダーによるSiウエハの乾式ポリシング特性
- 水ベースBaCO_3スラリーによるシリコンウェハーのポリシング
- BaCO_3磁石で研磨したシリコンウェーハの表面評価
- SiC 半導体単結晶のメカノケミカルポリシング技術 : Si終端面の高能率化の検討
- 「2001 分析展」 見聞録
- Y-Ba-Cu-O系超伝導体と電気光学結晶との反応性(セラミック材料小特集号)
- 高分子テンプレート法を用いた新規球状BST粒子合成法の検討
- 貴金属合金コロイドの低中温度領域での熱的性質と吸着有機物質の低温度領域での酸化分解反応