木下 暢 | 住友大阪セメント(株)
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概要
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木下 暢
住友大阪セメント (株)
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住友大阪セメント(株)
著作論文
- BaCO_3砥粒によるSiウェハーの研磨機構
- 超微粒BaCO_3パウダーによるSiウエハの乾式ポリシング特性
- 水ベースBaCO_3スラリーによるシリコンウェハーのポリシング
- BaCO_3磁石で研磨したシリコンウェーハの表面評価