石塚 ます美 | 住友大阪セメント(株)

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概要

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関連著者

• 石塚 ます美

  住友大阪セメント(株)

• 閔 恩基

  住友大阪セメント(株)

• 山本 良貴

  住友大阪セメント(株)

• 木下 暢

  住友大阪セメント (株)

• 木下 暢

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• 田中 伸一

  熊本大院

• 安永 暢男

  東海大学工学部精密工学科

• 田中 伸一

  住友大阪セメント(株)

• 安永 暢男

  東海大工学部

• 藤本 京子

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 山下 暢

  住友大阪セメント(株)

• 安藤 和人

  住友大阪セメント(株)

• 藤本 京子

  Jfeスチール(株)スチール研究所

• 石塚 ます美

  住友大阪セメント(株)新規技術研究所

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著作論文

• BaCO_3メカノケミカル砥石によるシリコンウェーハのドライポリシング
• BaCO_3砥粒によるSiウェハーの研磨機構
• 水ベースBaCO_3スラリーによるシリコンウェハーのポリシング
• BaCO_3磁石で研磨したシリコンウェーハの表面評価
• 「2001 分析展」 見聞録

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