田中 伸一 | 熊本大院

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概要

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関連著者

• 田中 伸一

  熊本大院

• 田中 伸一

  住友大阪セメント(株)

• 安永 暢男

  東海大学工学部精密工学科

• 閔 恩基

  住友大阪セメント(株)

• 山本 良貴

  住友大阪セメント(株)

• 石塚 ます美

  住友大阪セメント(株)

• 木下 暢

  住友大阪セメント (株)

• 木下 暢

  住友大阪セメント(株)

• 鈴木 清

  日本工大

• 植松 哲太郎

  富山県立大

• 渡邉 純二

  熊本大学大学院

• 井手 明

  日本工大

• 黒部 利次

  金沢大学工学部

• 黒部 利次

  金沢大学 工学部

• 安永 暢男

  東海大・工

• 渡邉 純二

  熊本大院

• 峠 睦

  熊本大・工

• 山内 勝利

  クレノートン

• 山下 暢

  住友大阪セメント(株)

• 杉浦 文浩

  日本工大

• 安永 暢男

  東海大工学部

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著作論文

• クラスター型アルミナ砥粒(SG砥粒)によるSiウエハの精密研削
• BaCO_3メカノケミカル砥石によるシリコンウェーハのドライポリシング
• 部分電極付き研磨パッドによる電気泳動研磨
• BaCO_3砥粒によるSiウェハーの研磨機構
• 超微粒BaCO_3パウダーによるSiウエハの乾式ポリシング特性

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