Analysis of Local Lattice Strains Around Plate-Like Oxygen Precipitates in Czochralski-Silicon Wafers by Convergent-Beam Electron Diffraction
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概要
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- Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
- 1997-06-01
著者
-
友清 芳二
九州大学超高圧電子顕微鏡室
-
Tomokiyo Yoshitsugu
Research Laboratory Of Hvem Kyushu University
-
OKUYAMA Tetsuya
Materials Science and Metallurgical Engineering, Kurume National College of Technology
-
NAKAYAMA Masaru
Materials Science and Metallurgical Engineering, Kurume National College of Technology
-
SADAMITSU Shinsuke
Sumitomo Sitix Corp., Silicon Technology Center
-
NAKASHIMA Jyun
Sharp Fukuyama, Fab.2, Process Eng.
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