繰り込み変換分子動力学によるシリコンと銅単結晶切削のシミュレーション
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1997-03-01
著者
関連論文
- 表面基準ポリシングにおけるパッド構成(第2報) -リテイナー形状精度に与える影響-
- 繰り込みMDの開発と銅の衝撃引っ張り破壊への適用(S09-2 計算ナノ・マイクロテクノロジーの新展開(2),S09 計算ナノ・マクロテクノロジーの新展開)
- 611 繰り込み群分子動力学で用いられるクラスタ間ポテンシャルの妥当性
- 1001 MDによるSiき裂進展シミュレーションにおけるマクロ場の影響(OS-10A マクロ・メゾ・マイクロ・ナノスケールを繋げるマルチスケール計算力学,OS-10 マクロ・メゾ・マイクロ・ナノスケールを繋げるマルチスケール計算力学)
- 1818 解析解に連結したMDと被覆されたMDの比較 : モードIクラックの場合(J06-3 マイクロ・ナノ構造解析法と応用,J06 計算マイクロ・ナノメカニクス)
- 210 鉄の微小切削における雰囲気分子の効果(OS6 超精密加工)
- 繰り込み群分子動力学によるSiの引張破壊シミュレーション(S09-2 計算ナノ・マイクロテクノロジーの新展開(2),S09 計算ナノ・マクロテクノロジーの新展開)
- MDとの比較による繰り込み群分子動力学の検証 : シリコンの衝撃引張り破壊の場合(S09-2 計算ナノ・マイクロテクノロジーの新展開(2),S09 計算ナノ・マクロテクノロジーの新展開)
- MDによる逆繰り込み変換MDの為の初期モデル生成(S09-2 計算ナノ・マイクロテクノロジーの新展開(2),S09 計算ナノ・マクロテクノロジーの新展開)
- 逆繰り込み変換MDによる銅の延性破面生成観察(S09-2 計算ナノ・マイクロテクノロジーの新展開(2),S09 計算ナノ・マクロテクノロジーの新展開)
- 614 クラスタ内の内部統計量を考慮した繰り込み群分子動力学の検証シミュレーション
- 613 非定常温度分布での原子温度とクラスタ温度
- 612 逆繰り込み変換分子動力学の為の初期粒子モデルの生成法
- 256 繰り込み群分子動力学を用いたシリコン熱伝導シミュレーション
- 反復修正有限要素法によるCMPの動的シミュレーション : パッド溝形状の評価
- 加工面接線力を考慮したCMPプロセスシミュレーション
- 湿式切削における工具-切りくず接触面温度の測定
- CMP研磨特性に及ぼすパッド粘弾性の影響
- 255 繰り込み群分子動力学の実際 : Si 単結晶切削への適用
- 242 繰り込み群分子動力学の理論
- 繰り込み群分子動力学を用いたSi単結晶の切削 : ミクロ/マクロ間の影響
- 反復修正有限要素法によるCMPプロセスの動解析
- SPHによる単発放電加工現象の熱/流体連成シミュレーション
- 繰り込み変換群分子動力学を用いたシリコン切削シミュレーション : 工具すくい面の詳細観察
- 17 繰り込み群分子動力学 : 理論と工具すくい面の詳細観察への適用
- 繰り込み群分子動力学によるシリコン単結晶切削時の欠陥生成プロセス解析
- 放電加工における衝撃力発生メカニズム試論
- 繰り込み変換分子動力学における気体吸着のモデル化
- SPHによる放電加工時の衝撃波生成シミュレーション
- 振動パワースペクトルの固有値解析による転がり軸受の状態診断
- シリコン単結晶の切削における脆性発現メカニズムの直接可視化
- 逆繰り込み変換分子動力学による切削場の局所ズーミングシミュレーション
- 繰り込み変換分子動力学によるシリコンと銅単結晶切削のシミュレーション
- 切削における脆性/延性遷移の分子動力学解析(第2報 Si単結晶切削への適用)
- 切削における脆性/延性遷移の分子動力学解析(第1報 繰り込み変換分子動力学法の理論)