多孔式電子ビーム励起プラズマソースの開発とダイヤモンド様炭素膜の作製
スポンサーリンク
概要
著者
-
斉藤 博紀
ニチメン電子工研株式会社
-
浜垣 学
理化学研究所 先端技術開発センター 支援展開チーム
-
多田 重和
ニチメン電子工研株式会社
-
坂本 雄一
ニチメン電子工研株式会社
-
鈴木 剛
ニチメン電子工研株式会社
-
武藤 治信
入江工研株式会社
-
坂本 雄一
ニチメン電子工研(株)
-
坂本 雄一
ニチメン電子
-
浜垣 学
理化学研究所
関連論文
- 有機太陽電池におけるITO電極の酸素プラズマ処理の効果
- プラズマ処理による有機EL素子の発光制御
- プラズマ処理による有機発光素子の特性改善
- 31p-YL-12 円板LaB_6を用いた電子ビーム励起プラズマ用長寿命カソード
- 30p-W-32 He,Ar再結合プラズマの反転分布II
- 酸化クロム膜のハロゲンプラズマに対する耐腐食テスト
- 永久磁石を用いた大口径 ECR プラズマ源(2) : エッチング特性
- 永久磁石を用いた大口径 ECR プラズマ源(1) : プラズマ特性
- 多孔式電子ビーム励起プラズマソースの開発とダイヤモンド様炭素膜の作製
- ダイヤモンド様炭素膜の高速堆積
- 高い一様性を持つ誘導励起プラズマの生成と応用
- コンパクト高密度ラジカル源
- 小型電子ビーム励起プラズマの特性と浮動電位の制御
- 多価イオン(期待されるブレイクスルー)
- 核融合-プラズマ・壁相互作用-プロセシング(私の研究の歩み)