高い一様性を持つ誘導励起プラズマの生成と応用

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1995-03-20

著者

• 林 雄造

  入江工研(株)

• 多田 重和

  ニチメン電子工研株式会社

• 坂本 雄一

  ニチメン電子工研株式会社

• 宮沢 亘

  ニチメン電子工研株式会社

• 坂本 雄一

  ニチメン電子工研(株)

• 坂本 雄一

  ニチメン電子

• 宮沢 亘

  ニチメン電子工研(株)

• O'keefe P.

  入江工研(株)

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