坂本 雄一 | ニチメン電子工研株式会社
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概要
関連著者
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坂本 雄一
ニチメン電子工研株式会社
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坂本 雄一
ニチメン電子工研(株)
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坂本 雄一
ニチメン電子
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宮沢 亘
ニチメン電子工研(株)
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岡本 幸雄
東洋大学理工学部電気電子情報工学科
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岡本 幸雄
東洋大学工学部電子情報工学科
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多田 重和
ニチメン電子工研株式会社
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田 昭治
入江工研株式会社
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岡本 幸雄
東洋大 工
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岡本 幸雄
東洋大学工学部
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斉藤 博紀
ニチメン電子工研株式会社
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林 雄三
入江工研株式会社
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井上 隆
東洋大学工学部
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宮沢 亘
ニチメン電子工研株式会社
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林 雄造
入江工研(株)
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宮澤 亘
ニチメン電子工研株式会社
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小川 忠良
東洋大学工学部
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鈴木 剛
ニチメン電子工研株式会社
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浜垣 学
理化学研究所 先端技術開発センター 支援展開チーム
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黒澤 和則
東京理科大学理工学部
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大河原 宏真
東洋大学工学部
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斉藤 博紀
東洋大学工学部
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武藤 治信
入江工研株式会社
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斎藤 博紀
ニチメン電子工研株式会社
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老川 昌久
ニチメン電子工研株式会社
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佐藤 秀昭
東洋大学工学部
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田 昭治
入江工研(株)
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老川 昌久
ハイテク21
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浜垣 学
理化学研究所
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O'keefe P.
入江工研(株)
著作論文
- 酸化クロム膜のハロゲンプラズマに対する耐腐食テスト
- 永久磁石を用いた大口径 ECR プラズマ源(2) : エッチング特性
- 永久磁石を用いた大口径 ECR プラズマ源(1) : プラズマ特性
- 多孔式電子ビーム励起プラズマソースの開発とダイヤモンド様炭素膜の作製
- ダイヤモンド様炭素膜の高速堆積
- 高い一様性を持つ誘導励起プラズマの生成と応用
- コンパクト高密度ラジカル源