ダイヤモンド様炭素膜の高速堆積

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1998-07-20

著者

• 斉藤 博紀

  ニチメン電子工研株式会社

• 多田 重和

  ニチメン電子工研株式会社

• 坂本 雄一

  ニチメン電子工研株式会社

• 鈴木 剛

  ニチメン電子工研株式会社

• 斎藤 博紀

  ニチメン電子工研株式会社

• 老川 昌久

  ニチメン電子工研株式会社

• 坂本 雄一

  ニチメン電子工研(株)

• 坂本 雄一

  ニチメン電子

• 老川 昌久

  ハイテク21

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