反応性DCスパッタリングによるTi-6 Al-4 V合金基板へのTi/O傾斜皮膜の形成

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概要

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• 表面技術協会の論文
• 1995-11-01

著者

• 加藤 誠

  名工研 材料プロセス部

• 加藤 誠

  工業技術院名古屋工業技術研究所

• 加藤 誠

  名古屋工業技術研究所

• 園田 勉

  名古屋工業技術研究所

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