プラズマ透過率の異なるマスクを用いた炭素材料のプラズマによる選択的表面改質
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概要
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- 1995-09-20
著者
-
小島 昭
群馬工業高等専門学校
-
加藤 正明
群馬工業高等専門学校
-
大谷 杉郎
東海大学開発工学部素材工学科
-
大谷 杉郎
Research Institute Of Science And Technology Tokai University
-
大手 丈夫
群馬工業高等専門学校
-
泉 順
群馬工業高等専門学校電子情報工学科
-
根岸 恒雄
群馬工業高等専門学校
-
大谷 杉郎
東海大学 開発工学部素材工学科
-
東 順
群馬工業高等専門学校電子情報工学科
-
大谷 杉郎
東海大学
-
泉 順
群馬工業高等専門学校
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