2p-A-12 平行平板型電極RF放電プラズマの診断
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1994-08-16
著者
-
菅原 實
八戸工大
-
菅原 實
八戸工業大学
-
加藤 正明
群馬工業高等専門学校
-
加藤 正明
群馬工業高等専門学校電気工学科
-
水井 正一
群馬高専
-
小林 祥男
群馬高専
-
ティヒ M
チャールス大
-
クードナ P
チャールス大
-
加藤 正明
群馬高専
-
菅原 実
八戸工大
-
菅原 實
八戸工大・電気電子
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