29a-H-8 加熱式シングルプローブ法によるシランプラズマの診断
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1987-09-16
著者
-
菅原 實
八戸工業大学
-
菅原 実
群馬大・工
-
加藤 正明
群馬工業高等専門学校
-
加藤 正明
群馬工業高等専門学校電気工学科
-
小林 祥男
群馬高専
-
加藤 正明
群馬高専
-
大手 文夫
群馬高専
-
菅原 実
八戸工大
関連論文
- 17pRA-7 二枚の平行板陰極を有するグロー放電の電流-電圧特性と発光形態
- 23pB-10 アルゴンアフタグローおける電磁波の負の吸収の観測(II)
- 24pYF-3 アルゴンアフタグローおける電磁波の負の吸収の観測
- 25a-F-4 低電子密度における陽光柱理論の実験的検証(II)
- アフタグロー法を用いたアルゴン電離気体中の電子の実効拡散係数の測定
- 31p-YL-1 低電子密度における陽光柱理論の実験的検証
- アフタグロー法を用いた両極性拡散から自由拡散への移行の研究
- アフタグロー法を用いた拡散の電子密度依存の検証
- アフタグロー法を用いた拡散の電子密度依存の検証(II)
- 2p-A-7 同軸円筒電極プラズマの特性(I)
- 29a-T-10 Ar高周波放電における探針測定
- RF放電測定におけるシングルプローブのRF電位補償法
- 2p-A-12 平行平板型電極RF放電プラズマの診断
- 30p-ZH-4 シングルプローブに対するRF電位補償の最適化(放電)
- 26p-ZA-12 RF放電中における探針の電位変動への補償法
- 3p-TC-2 RF放電中における複探針への電位変動の影響
- 2p-Q-3 RF放電プラズマ中での複探針 II
- 4a-P-1 RF放電プラズマ中での複探針
- 29a-H-8 加熱式シングルプローブ法によるシランプラズマの診断
- 発光分光法を用いた窒素プラズマによるガラス状炭素の表面改質機構の解明
- 低温プラズマによる改質の効果波及領域
- 低温プラズマによる材料表面の疎水化促進
- 低温プラズマによる炭素材料の表面機能化技術
- アルゴンプラズマによる炭素材料の表面改質時における材料加熱効果
- プラズマ透過率の異なるマスクを用いた炭素材料のプラズマによる選択的表面改質
- 窒素プラズマによる各種炭素材料の表面改質とその機構
- プラズマによる三次元成形物の表面改質の基礎的研究
- 酸素プラズマによる立体形状炭素材料の表面改質と改質領域
- 異なった表面構造を有する炭素材料表面へのリアクティブプラズマの作用の差
- 低温プラズマによる炭素材料表面改質におけるプラズマ構成要素の作用
- SF_6 プラズマによる炭素材料の表面改質
- 不活性ガスのR. F. 放電プラズマによるガラス状カーボンの表面改質
- 複合プラズマ処理によるガラス状カーボン表面特性の精密制御
- 反応性ガスのR. F. 放電プラズマによるガラス状カーボンの表面改質
- 混合ガスR.F.放電プラズマを用いたガラス状カーボンの表面改質
- 4a-H-5 四重極型質量分析器を用いたArアフターグローの研究
- 4a-P-2 平板型RF放電シース電圧の制御
- 2a-T-2 アルゴンアフター・グローにおける研究 (III)
- 30p-T-5 アルゴン アフター・グローにおける研究
- 3p-N-6 水銀アフターグローにおける準安定原子の振舞い
- 4a-RA-4 アルゴンアフタグローにおける発光
- 5a-Yp-12 R.F.放電におけるプラズマ密度のパワー依存性
- 2a-Q-5 マイクロ波空洞共振器法によるArアフタグローにおける電子密度の絶対値測定
- 減衰プラズマに適用可能な自己吸収法を用いた水銀準安定原子の衝突過程
- アフタグロー
- 29a-YC-11 アルゴンアフタグロー法を用いた電子加熱過程の分離
- アフタグロー法を用いたアルゴン準安定原子同士の衝突電離係数の測定
- 28p-YT-8 同軸円筒電極プラズマの特性(II)
- 25p-E-7 特殊ホロー陰極放電の放電開始
- 29p-YW-14 逆転磁場ピンチSTP-3Mにおける周辺プラズマの揺動解析VIII
- 31p-YA-3 逆転磁場ピンチSTP-3Mにおける周辺プラズマの揺動解析VII
- 31p-YA-2 逆転磁場ピンチSTP-3Mにおける周辺プラズマの揺動解析 VI
- 14p-L-12 逆転磁場ピンチSTP-3Mにおける周辺プラズマの揺動解析V
- 14p-L-11 逆転磁場ピンチSTP-3Mにおける周辺プラズマの揺動解析IV
- 1a-ZC-11 逆転磁場ピンチSTP-3Mにおける周辺プラズマの揺動解析III(プラズマ物理・核融合)
- 30a-Y-5 逆転磁場ピンチSTP-3Mにおける周辺プラズマの揺動解析I
- 放電プラズマを用いたセラミックスの表面改質
- コロナ放電処理による表面改質 (特集 材料機能創成のための表面改質技術)
- ホロー陰極放電への電極形状効果
- 2平行平板型ホロー陰極効果への電極間隔と深さの効果
- プロセスプラズマソース
- ホロー陰極放電への電極構造効果
- 29a-YF-8 ホロー陰極維持の最適間隙長
- 狭間隔の2平行平板を陰極とするグロー放電の形態とその維持機構
- 24aYF-8 グロー放電陰極のγの実験的評価
- 4a-P-11 中間気圧アルゴンフタグローにおける電子温度の測定
- 5a-C4-2 四重極質量分析計を用いたアルゴン分子イオンの解離再結合係数の測定III
- 12p-DF-8 中気圧アルゴンアフターグローの研究
- 29a-T-9 アルゴンアフターグローの研究(VI)
- 2a-SE-4 アルゴンアフターグローにおける電子エネルギー分布の測定
- 2a-E-4 アフターグローにおけるDruyvesteynエネルギー分布測定法の改良
- 4a-NT-2 アルゴンアフターグローにおける研究(V)
- 3p-D-8 水銀アフター・グローにおける準安定原子の径方向分布
- 3p-D-7 アルゴンアフターグローにおける研究(II)
- 24pYF-5 イオンエネルギーアナライザーを用いたイオンシースの微細構造の測定
- 4a-H-4 レーザーを用いたHg準安定原子の減衰過程の研究
- 清浄表面を保持する加熱式静電探針の基礎特性
- SF6ガス中における加熱式ダブルプロ-ブ法 (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- SF6ガス中における加熱式ダブルプローブ法
- 13a-DG-8 アフタグロー法を用いた超弾性衝突断面積の測定II
- 28p-ZE-4 高周波放電における放電機構
- 27a-ZH-1 R.F.放電負グローの時間的振舞い
- 14p-DG-13 特殊ホロー陰極放電の存在とその維持
- 30p-ZH-3 アフタグロー法を用いた超弾性衝突断面積の測定(放電)
- 26a-E-8 アフタグロー法を用いた超弾性衝突周波数の測定
- 28p-ZE-12 アルゴンアフタグローにおける電子温度の減衰機構(II)
- 28p-ZH-1 アルゴンアフタグローにおける電子温度の減衰機構
- 26p-ZA-8 アルゴンアフタグローにおける荷電粒子の振舞
- 4a-TC-6 アルゴンアフタグローにおけるAr_2^+イオンの損失過程
- 27a-ZH-3 グリッド型アナライザーによるプラズマ電位の計測
- 4a-P-5 R.F.放電構造の光学的診断
- 4a-H-6 Ar高周波放電中の電位分布の測定
- 4a-NT-1 自己吸収法による水銀アフター・グローにおける準安定原子の測定
- 30p-Q-3 水銀アフターグローにおける励起原子の減衰
- 3a-G1-7 四重極質量分析計を用いたアルゴン分子イオンの解離再結合の測定(II)(放電)
- 31p-A6-5 マイクロ波空洞共振器法によるアルゴン・酸素混合気体アフタグローの研究(31p A6 放電)
- 3a-G1-8 アルゴン・酸素混合気体放電における発光スペクトルのE/N依存性(放電)
- 1a-CB-2 四重極型質量分析計を用いたArアフターグローの研究(II)(放電,第41回年会)