PVDによるTi-C-N薄膜生成に及ぼすイオンの効果
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概要
著者
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奥村 直樹
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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奥村 直樹
新日本製鐵(株)第一技研
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田村 元紀
新日本製鐵株式会社先端技術研究所
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奥村 直樹
新日本製鉄(株)先端技術研究所新材料研究部
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田村 元紀
新日本製鐵(株) 先端技術研究所
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田村 元紀
新日本製鐵 (株) 先端技術研究所
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