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物質･材料研究機構 | 論文
- 溶射工学への取り組み
- 多項目同時測定ヘルスケアチップ用マイクログルコースセンサーの創製
- Cleaning of Silicon Surfaces by NF_3 Added Hydrogen and Water Vapor Plasma Downstream Treatment
- 2段高速フレーム溶射プロセスの一次元解析
- 2.4GHzフロントエンドAlN/α-Al_2O_3 SAWマッチトフィルタ
- 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製 : ドライエッチング技術の展開
- 日々の健康管理 -ヘルスケアデバイスの創製-
- プラズマプロセスによるバイオチップの開発と展望
- 大気圧マイクロプラズマジェットの微細加工への応用
- VHF駆動によるマイクロプラズマの生成技術とマイクロ化学分析システムへの応用
- 高アスペクト比ULSIエッチング技術
- 5.最近のトピックス : 5.2フッ素,塩素負イオン生成とSi,SiO_2とのエッチング反応 : 負イオンを見直そう(負イオン特集)
- An atmospheric-pressure microplasma jet source for the optical emission spectroscopic analysis of liquid sample
- Localized and ultrahigh-rate etching of silicon wafers using atmospheric-pressure microplasma jets
- 完璧な金属コーティングを目指して
- 日本溶射協会関東支部2007年度第3回講演会報告
- 「第2回つくば国際コーティングシンポジウム」の開催
- Etching Reactivity of Negative Ions Generated in Cl_2 Downstream Plasma
- Electron Energy Control in Inductively Coupled Plasma Employing Multimode Antenna
- Thin Film Detection Employing Frequency Shift in Sheath Current Oscillation