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東北大未来科学技術共同研究センター | 論文
- 東北大学 未来情報産業研究館スーパークリーンルーム : フラクチュエーションフリーファシリティー
- オゾンの半導体製造分野への適用 : 高精度で再現性を有する全4工程室温洗浄技術
- 半導体プロセスにおける超高純度ガスの安定供給技術 (特集 半導体用のガス)
- エキシマレ-ザ用ガス配管システム (特集:次世代リソグラフィにおけるウルトラクリ-ンテクノロジ-の役割)
- ステンレス表面の酸化クロム不働態処理
- 表面吸着水分の計測
- ステンレス配管システムの酸化クロム不働態処理 (特集 高性能,高信頼,低価格な超高純度ガス供給システム--特殊ガスの完全制御をめざして,まずメンテナンスフリ-ガス供給系から)
- シランガスと各種シリコン表面の相互作用
- 30p-J-1 NH_4LiSO_4のブリルアン散乱II
- 123 SCF-Tight-Binding量子分子動力学法によるトライボケミカル反応ダイナミクスシミュレーション(OS1.固体物理/流体物理のマルチフィジックス/マルチスケール解析(7),オーガナイズドセッション)
- 高純度有機金属ガス供給システムに関する研究(プロセス科学と新プロセス技術)
- D-52 クリーンルームを有する施設の省エネルギー化に関する研究 : その1 シミュレーションプログラム開発と適用
- C-48 吸収液除湿式空気調和方式によるクリーンルーム空調エネルギー削減の研究開発 : (第1報) 研究概要と基礎実験
- B-37 二酸化塩素を用いた斜行ハニカム式空気殺菌浄化システムの開発 : 二酸化塩素の殺菌・脱臭特性