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東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻 | 論文
- ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作
- シリコン光MEMS (特集 新たな地平に向かうシリコンフォトニクス)
- 集積型光エンコーダの開発 : 間隙不感型光学系の設計とセンサの製作
- 522 静電アクチュエータを用いた可変スラブによるフォトニック結晶光スイッチの製作(ロボティクス,2.学術講演)
- シリコンマイクロマシニングと集積化技術
- 回折格子表面からの熱放射スペクトルへの複素屈折率温度依存性の影響(熱工学I-2)
- 光MEMS用マイクロアクチュエータ(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)
- 306 波長選択性熱放射素子を用いた共鳴振動励起によるメタン水蒸気改質の高効率化に関する研究(学生賞II)
- 光マイクロマシンと集積化
- MEMS技術による光学システムの集積化--集積化を目指したMEMSと光学システムの組み合わせについて
- 光 MEMSのための表面微細加工と集積化技術
- Fabrication of High-Accuracy Microtranslation Table for Near-Field Optical Data Storage Actuated by Inverted Scratch-Drive Actuators
- 金型材の電極レスELID研削(ELIDIII)特性
- 三次元フリップチップ実装構造における薄化チップの局所変形と残留応力(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
- 三次元フリップチップ実装構造における薄化チップの局所変形と残留応力(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
- 三次元フリップチップ実装構造における低応力構造設計指針の提案
- 210 微細スリットによる鋼メッキ応力測定法の感度向上メカニズム(材料力学II)
- 516 円筒面大面積3次元微細形状の機上ナノ計測に関する研究 : センサの開発と評価実験(機械力学・計測制御)
- 312 小型ファストツールサーボの製作と評価
- 4327 積層フリップ実装構造チップ内の残留応力分布(J05-3 実装信頼性,J05 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)