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日電アネルバ (株) | 論文
- 高周波放電電極上の自己バイアス電位分布の研究
- 無振動クライオポンプの開発
- 脱ガス処理を施した清浄化ステンレス鋼製真空容器の排気特性
- フラッシュ脱離(FD)法の極高真空計測への応用
- 帯状1ループアンテナプラズマ源のプラズマ特性
- 帯状1ループアンテナによる低圧力高密度プラズマの生成
- 29a-K-1 Si/Si_Ge_xにおけるファトルミネッセンススペクトルの圧力依存性II
- 12a-DE-9 Si/Si_Ge_Xにおけるフォトルミネッセンススペクトルの圧力依存性
- ヘリコンプラズマバイアスCVDにおける層間絶縁膜の埋設特性評価
- サマリー・アブストラクト
- 高温非平衡プラズマの特性と応用
- 四重極質量分析計を用いた無機ガス用GC/MSの特性
- Si-MBEにおける表面欠陥の減少
- 冷陰極放電誘起発光分光法による分子線の検出
- EIES蒸発速度モニターを用いたMBE成長
- ドライエッチング装置における安全対策
- アブストラクト
- VAMAS-SCA-WG in Japan活動報告
- G-M冷凍機を用いたクライオポンプによるXHV実現の可能性
- アブストラクト