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富山県工技セ 中研 | 論文
- C-6-2 低剛性ZrO_2バッファ層を用いたNiCr抵抗膜のTCR特性(C-6.電子部品・材料,一般講演)
- スパッタ法で作製されたNiCr薄膜の構造と抵抗温度係数(TCR)特性に及ぼす基板の表面あらさの影響(薄膜プロセス・材料,一般)
- C-6-1 NiCr抵抗体膜のZrO_2バッファ層による抵抗温度係数TCR特性の変化(C-6.電子部品・材料,一般講演)
- Arイオン衝撃処理によるイオンビームスパッタFe膜の構造と磁気特性変化
- デュアルイオンビームスパッタ法を用いたAu超薄膜の作製とその紫外域透明電極への応用
- デュアルイオンビームスパッタ法によるFe-N膜の作製とそのアニール特性
- IBS法におけるスパッタガス種の鉄薄膜特性に及ぼす影響
- イオンビー・ムスパッタ法における反跳Arの鉄薄膜特性に及ぼす影響
- イオンビームスパッタ法における反跳Arの鉄薄膜特性に及ぼす影響