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兵庫県大 高度産業科技研 | 論文
- 高アスペクト比コイルを用いた電磁型マイクロアクチュエータ(第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)
- 二層ニッケル電鋳法による高硬度マイクロ金型の作製(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- マイクロマシンに対するマイクロ波エネルギー伝送システム
- エッチングによる表面微細加工
- 放射光STMによるナノスケールでの表面元素分析
- Ti-Ni薄膜の形状回復力を用いた高接触力MEMSプローブカードの試作
- X線透過格子を用いた位相イメージング装置開発
- MEMSプローブの作製と機械特性評価 ([日本設備管理学会]20周年記念大会特集論文)
- 微細電鋳金型による高機能導光板の作製とLED照明用途への展開
- 2312 二層ニッケル電鋳法による高硬度微細金型の作製(マイクロメカニズム,一般講演)
- 2311 カーボン基板を用いたX線マスクの開発(マイクロメカニズム,一般講演)
- 117 多層ニッケル電鋳による高強度金型の作製(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- 慣性駆動型マイクロマニピュレータの機構と駆動方法
- 力が出る「伸縮屈曲アクチュエ-タ」 (特集 マイクロマシンが大きく見える)
- マイクロマシンへのマイクロ波無線エネルギー供給
- ミリ波レーダ用60GHz帯ミキサMMIC
- 伸縮屈曲型アクチュエータとその特性
- 慣性駆動型マイクロマニピュレータの動特性
- 力積層型圧電アクチュエータを用いた配管内マイクロ移動機構
- 可変焦点レンズの高速動作による長焦点深度顕微鏡