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京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室 | 論文
- 低エネルギー集束イオンビーム直接蒸着装置の開発
- 極微フィールドエミッタへのイオン衝撃に関する計算機実験
- 金属蒸着フィールドエミッタの作製と電子放出特性
- 高周波プラズマスパッタ型負重イオン源における気体材料の負イオン生成
- 負イオン注入における絶縁した電極表面の帯電電位のイオン電流密度依存性
- イオン照射表面のその場観察を目的とした超高真空走査トンネル顕微鏡装置の開発
- 微細周期構造にイオン注入したときの素子帯電のシミュレーション
- イオン誘起二次電子による負イオン注入時の絶縁物基板の帯電測定
- CN分子負イオン生成とCN負イオンビ-ム蒸着膜の作製 (特集/負イオン利用技術の現状--負イオン発見100年を記念して)
- 負イオン注入における基板帯電モデルとその評価
- 低エネルギー集束イオンビームによる薄膜形成
- サマリー・アブストラクト
- イオン誘起二次電子分析による負イオン注入時のレジスト膜の帯電測定
- 高周波プラズマスパッタ型負重イオン源からのCN分子負イオン引き出しとCN負イオンビーム蒸着膜の作製
- 高周波プラズマスパッタ型負重イオン源におけるSF_6からのフッ素負イオン引き出し
- 負イオン注入における絶縁物からの放出二次電子の測定