CN分子負イオン生成とCN負イオンビ-ム蒸着膜の作製 (特集/負イオン利用技術の現状--負イオン発見100年を記念して)

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概要

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著者

• 吉原 孝明

  京都大学大学院工学研究科

• 富田 哲生

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室

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• サマリー・アブストラクト
• 高周波プラズマスパッタ型負重イオン源からのCN分子負イオン引き出しとCN負イオンビーム蒸着膜の作製
• 高周波プラズマスパッタ型負重イオン源におけるSF_6からのフッ素負イオン引き出し

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