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三菱電機株式会社ULSI技術開発センタープロセス評価技術部 | 論文

• CVD-TiN/Tiバリアメタルのコンタクトプラグプロセスへの応用
• 高感度裏面エミッション検出によるウエハレベル故障分布解析
• 高感度裏面エミッション検出によるウエハレベル故障分布解析
• ULSIデバイス不良解析エキスパートシステム
• 歩留まりに影響する致命不良を抽出する故障解析システム

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