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(株)東芝セラミックス 開発研究所 | 論文
- 窒素ドープシリコン結晶中の Grow-in 欠陥形態への窒素の影響
- 23pYP-9 窒素ドープシリコン結晶中のGrown-in欠陥形態
- 窒素ドープシリコン中のGrown-in欠陥形態
- プラズマ処理によるシリコン・ダイヤモンドのナノ構造形成
- プラズマによる微細針状シリコンの形成
- 針状ナノシリコン結晶の構造解析(ナノ粒子I)
- シリコン結晶中の酸素析出物の形態変化(バルク成長分科会特集 : シリコン結晶の最近の話題から)
- SiC基板上のCVD-SiC膜の構造
- LSI用pn接合特性解析技術の開発--酸素析出物に起因した接合リーク発生機構の解明