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(株)日立ハイテクノロジーズ | 論文
- D-7-8 感染症診断支援システムにおけるリスク判定知識ベース編集機能の開発(D-7. MEとバイオサイバネティックスA)
- 走査透過像観察装置(HD-2000)による軽元素分布の観察
- SiO_xN_y/Si界面の位置分解EELS計測
- 固定砥粒を用いたSTI平坦化プロセスの研究(第1報) : 平坦化加工性向上のための要因分析
- STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第3報):加工均一性の検討
- STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第2報):気孔制御による低スクラッチ化
- STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発 : 砥粒の選定
- 28pZF-14 強光子場中の分子の配向と構造:パルス電子回折法によるアプローチ
- 23aYJ-4 パルス電子回折法による強光子場中の分子追跡
- アルミニウム表面に形成したアルミナ溶射膜の強度評価
- ポリイミド被覆を有する石英製キャピラリの引張強度評価
- TEM試料作製のためのマイクロサンプリング法
- Ni基単結晶超合金高温クリープ試料のFIB/TEM評価
- ナノ構造材料解析のための前処理および観察技術
- FIBを用いたナノテク材料のピンポイント解析
- FIBマイクロピラー試料による三次元構造解析
- 電子顕微鏡用マイクロサンプリング技術の開発
- μサンプリング法によるTEM試料作製技術
- FIB-TEMシステムの金属材料への応用
- FIB試料の最近の進歩 (新手法--21世紀に向けて)