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(株)ニコン | 論文
- 仮想透視カメラ群による物体の全周囲復元法と人動作の立体モデル化への応用
- アクチュエータの多点配置によるアクティブ除振装置の広帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 19・4 半導体製造・精密・光学機器(19.情報・精密機械,機械工学年鑑)
- 紫外・真空紫外領域での応用を目指した単結晶育成に関する研究 (特集:材料物性から見たフッ化物・酸化物単結晶の育成技術)
- 露光装置の地震対策 : —ソフトランディングによる装置保護—
- ヘッドマウントディスプレイとその光学系
- スキャン光学エンコーダの安定性に関する一研究--位相同期検波と補償格子構成による高安定位置センサの実現
- スキャン光学エンコーダによるギャップ計測に関する一研究--レーザ干渉スキャン光学系と位相同期検波による2次元計測
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制の定量化と除振台上の振動低減効果(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制(機械力学,計測,自動制御)
- ボイスコイルモータを使った除振台の傾斜補正
- 除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化
- 補助タンクを用いた除振台の高性能化
- 空圧位置決めの一フィードフォワード補償器の機能
- 元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の公差設計の改良
- 逆テーパ付き空気ばねのモデルの提案
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の一公差設計(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に対する元圧・元流量変動フィードフォワード制御
- 絶対変位センサのアクティブ除振装置への適用