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(株)サムコインターナショナル研究所 | 論文
- マルチビーム薄膜形成装置の開発
- 光励起化学蒸着法によるSnO_2の成膜 : 紫外光の照射効果
- 衝撃力と衝撃モーメントを先端に受ける片持ち梁の弾性振動論による衝突運動解析 : モード関数が直交しない場合の解析手法
- プロパルギルアルコ-ルをモノマ-とするプラズマ重合膜の湿度-導電特性
- ICPを用いた反応性イオンエッチングによるInP2次元フォトニック結晶の作製
- ICPを用いた反応性イオンエッチングによるInP2次元フォトニック結晶の作製
- 成膜装置の特徴及び膜の特性(その2)
- マイクロマシ-ンと微細加工技術--プラズマプロセスのマイクロマシ-ニングへの応用
- N_2添加O_2スーパーマグネトロンプラズマによるクォーターミクロンレジストパターンのエッチング形状制御
- スーパーマグネトロンプラズマCVD法作製DLC膜の物性評価
- サマリー・アブストラクト