林 利彦 | 山口大学工学部機能材料工学科
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概要
関連著者
著作論文
- 誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr薄膜の作製 : 基板バイアスによって制御したイオン照射の効果
- 9-8 ICPプラズマ支援マグネトロンスパッタ法で作成したCo-Cr薄膜の磁気特性
- 誘導結合型プラズマ支援型マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr磁性薄膜の作成
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