入沢 寿史 | 産業技術総合研究所 グリーンナノエレクトロニクスセンター
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概要
関連著者
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入沢 寿史
産業技術総合研究所 グリーンナノエレクトロニクスセンター
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入沢 寿史
半導体MIRAI-ASET
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手塚 勉
半導体MIRAI-ASET
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入沢 寿史
産業技術総合研究所グリーンナノエレクトロニクスセンター
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小田 穣
産業技術総合研究所 グリーンナノエレクトロニクスセンター
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手塚 勉
産業技術総合研究所 グリーンナノエレクトロニクスセンター
著作論文
- 微細InGaAs MOSFETに適用可能な極薄Ni-InGaAs合金コンタクトの形成とその熱的安定性(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- 微細 InGaAs MOSFET に適用可能な極薄 Ni-InGaAs 合金コンタクトの形成とその熱的安定性