微細 InGaAs MOSFET に適用可能な極薄 Ni-InGaAs 合金コンタクトの形成とその熱的安定性

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概要

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• 2012-06-14

著者

• 入沢 寿史

  産業技術総合研究所 グリーンナノエレクトロニクスセンター

• 小田 穣

  産業技術総合研究所 グリーンナノエレクトロニクスセンター

• 手塚 勉

  産業技術総合研究所 グリーンナノエレクトロニクスセンター

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