平野 秀 | 東北大学工学研究科
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概要
関連著者
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北 智洋
東北大学大学院工学研究科電気・通信工学専攻
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山田 博仁
東北大学工学研究科
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堀川 剛
産業技術総合研究所
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関 三好
産業技術総合研究所
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越野 圭二
独立行政法人産業技術総合研究所
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杉山 曜宣
独立行政法人産業技術総合研究所
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佐野 作
独立行政法人産業技術総合研究所
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北 智洋
東北大学工学研究科
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外山 宗博
産業技術総合研究所
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佐野 作
産業技術総合研究所
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大塚 実
産業技術総合研究所
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田主 裕一朗
東北大学工学研究科
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奈良 匡樹
東北大学工学研究科
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平野 秀
東北大学工学研究科
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越野 圭二
産業技術総合研究所
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横山 信幸
産業技術総合研究所
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杉山 曜宣
産業技術総合研究所
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石塚 栄一
産業技術総合研究所
著作論文
- 300mm基板上にArF液侵リソグラフィーを用いて作製したシリコンフォトニクスデバイス(アクティブデバイスと集積化技術、一般「材料デバイスサマーミーティング」)
- 300mm基板上にArF液侵リソグラフィーを用いて作製したシリコンフォトニクスデバイス(アクティブデバイスと集積化技術、一般「材料デバイスサマーミーティング」)