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竹田 敢 | 東理大・理
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金子 聰
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宮川 宣明
諏訪東理大・機械システム
小野 亜樹子
東理大・理
竹田 敢
東理大・理
金子 聡
東京理科大学理学部応用物理学科
著作論文
25pB04 通電加熱シリコン基板へのガス・クラッキングによるシリコンカーバイド低圧CVD(半導体エピ(2),第34回結晶成長国内会議)
29pWP-2 通電加熱シリコン基板へのガスクラッキングによるシリコンカーバイド低圧CVD(結晶成長)(領域9)
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