鎌田 直樹 | 名古屋工業大学工学研究科

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概要

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• 同名の論文著者
• 名古屋工業大学工学研究科の論文著者

関連著者

• 神保 孝志

  名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター

• 鎌田 直樹

  名古屋工業大学工学研究科

• 曽我 哲夫

  名古屋工業大学工学研究科未来材料創成工学専攻

• 林 靖彦

  名古屋工業大学工学研究科未来材料創成工学専攻

• 神保 孝志

  三重大学電気電子工学科

• 林 靖彦

  名古屋工業大学

• 神保 孝志

  名古屋工業大学

• Jimbo T

  Nagoya Inst. Technol. Nagoya Jpn

• 神保 孝志

  名古屋工業大学極微デバイス機能システム研究センター

著作論文

• メタン及び窒素プラズマソースを用いて作製したアモルファスカーボン薄膜の特性評価(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料))
• メタン及び窒素プラズマソースを用いて作製したアモルファスカーボン薄膜の特性評価(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料))
• メタン及び窒素プラズマソースを用いて作製したアモルファスカーボン薄膜の特性評価(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料))

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