大崎 明彦 | 株式会社ルネサステクノロジ

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概要

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関連著者

• 大崎 明彦

  株式会社ルネサステクノロジ

• 松浦 正純

  株式会社ルネサステクノロジ

• 大崎 明彦

  三菱電機(株) ULSI 技術開発センター

• 西岡 康隆

  三菱電機(株)LSI研究所

• 西岡 康隆

  三菱電機(株)

• 古澤 健志

  株式会社ルネサステクノロジ

• 後藤 欣哉

  株式会社ルネサステクノロジ

• 深田 哲生

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 豊田 吉彦

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 友久 伸吾

  三菱電機(株)

• 三浦 典子

  株式会社ルネサステクノロジ

• 橋井 忍

  株式会社ルネサスセミコンダクタエンジニアリング

• 松本 雅弘

  株式会社ルネサステクノロジ

• 佐竹 哲郎

  松下電器産業(株)

• 松浦 正純

  三菱電機(株)

• 堂前 伸一

  松下電器産業(株)

• 豊田 吉彦

  三菱電機(株)先端技術総合研究所先端デバイス部門半導体デバイス部

• 深田 哲生

  三菱電機 先端技総研

• 豊田 吉彦

  三菱電機(株)

• 深田 哲生

  三菱電機(株)

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著作論文

• 45nm Cu/Low-k配線対応Ultra Low-k膜UVキュア技術の検討(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
• CD制御に基づいたCu/有機 Low-k 配線インテグレーション技術

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