水川 真 | 芝浦工業大学電気工学科
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概要
芝浦工業大学電気工学科 | 論文
- 多分岐切換用ロータリ形マイクロバルブチップ : 第3報,バイアスバネ機構の内蔵とバルブ性能測定(機械力学,計測,自動制御)
- 多分岐切換用ロータリ形マイクロバルブチップ : 第3報, バイアスバネ機構の内蔵とバルブ性能測定
- 多分岐切換用ロータリ型マイクロバルブチップ : 第2報,ソレノイドを利用した自動切換え機構の提案(機械力学,計測,自動制御)
- 多分岐切換用ロータリ形マイクロバルブチップ : 第1報,ロータリ機構を利用した多分岐切換原理の実証(機械力学,計測,自動制御)
- アクチュエータ駆動多方向切換バルブチップの開発(MEMSとナノテクノロジー2)