田中 武 | 広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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概要
広島工業大学工学部電子・光システム工学科 | 論文
- 多重磁極型高周波マグネトロンスパッタ法によるCo薄膜の基板温度依存性
- RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法により作製したAl/ITO界面の評価
- RF-DC結合型プラズマCVD法によるa-Si:H薄膜の成長速度
- 誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により作製したCu薄膜に及ぼす陽極電圧と基板バイアス電圧の効果
- 誘導結合プラズマ支援型アンバランスマグネトロンスパッタ法によるCu薄膜の作製