TODA Takeshi | Device Platforms Research Labs., NEC.

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概要

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• 同名の論文著者
• Device Platforms Research Labs., NEC.の論文著者

Device Platforms Research Labs., NEC. | 論文

• High Performance SiN-MIM Decoupling Capacitors with Surface-smoothed Bottom Electrodes for High-speed MPUs
• Impact of Barrier Metal Sputtering on Low-k SiOCH Films with Various Chemical Structures
• A Metallurgical Prescription Suppressing Stress-induced Voiding (SIV) in Cu lines
• 3. 45nm/32nm世代ULSI対応の最先端配線技術(次世代コンピュータを支える超高速・超高密度インタコネクション技術)
• ランダムテレグラフノイズの包括的理解に向けた新解析手法の提案とその応用(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

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