柳 基典 | 野村マイクロ・サイエンス(株)

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概要

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• 同名の論文著者
• 野村マイクロ・サイエンス(株)の論文著者

関連著者

• 河野 昭彦

  金沢工業大学

• 堀邊 英夫

  金沢工業大学

• 柳 基典

  野村マイクロ・サイエンス(株)

• 河野 昭彦

  金沢工業大学ものづくり研究所

• 堀邊 英夫

  金沢工業大学ものづくり研究所

• 太田 裕充

  野村マイクロ・サイエンス株式会社

• 柳 基典

  野村マイクロ・サイエンス株式会社

• 堀邊 英夫

  金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科

• 堀邊 英夫

  金沢工大・ものづくり研究所

• 山本 雅史

  金沢工業大学ものづくり研究所

• 五十嵐 壮紀

  金沢工業大学ものづくり研究所

• 矢田 賢司

  金沢工業大学ものづくり研究所

• 矢田 賢司

  金沢工業大学 ものづくり研究所

• 堀邊 英夫

  金沢工業大学大学院工学研究科

• 佐々木 保飛

  金沢工業大学大学院工学研究科

• 大坪 博文

  野村マイクロ・サイエンス(株)

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著作論文

• 炭酸エチレンを用いたイオン注入レジストの除去(半導体材料・デバイス)
• 溶剤による化学増幅ネガ型ノボラックレジストの除去
• 炭酸エチレンへのエチレングリコール添加によるレジスト除去速度の向上

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