村上 勝彦 | (株)ニコン コアテクノロジーセンター

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関連著者

• 村上 勝彦

  (株)ニコン コアテクノロジーセンター

• 村上 勝彦

  (株)ニコン 技術開発本部

• 村上 勝彦

  ニコン

• 岡崎 信次

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構

• 岡崎 信次

  技術研究組合 極端紫外線露光システム技術開発機構

• 村上 勝彦

  (株)ニコン 精機カンパニー

著作論文

• 電析法による軟X線縮小投影リソグラフィー用反射マスクの作製
• 縮小露光光学系・照明光学系の設計(EUV基盤技術とその応用の現状)
• 使用波長による光学系の計測評価(EUV基盤技術とその応用の現状)
• 2.EUVリソグラフィと露光装置(リソグラフィ用EUV(極端紫外)光源研究の現状と将来展望)
• フルフィールド極端紫外露光装置の開発

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