村上 勝彦 | ニコン

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概要

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関連著者

• 村上 勝彦

  ニコン

• 村上 勝彦

  (株)ニコン 技術開発本部

• 村上 勝彦

  (株)ニコン コアテクノロジーセンター

• 荒木 敬介

  キヤノン(株)オプティクス技術開発センター

著作論文

• 電析法による軟X線縮小投影リソグラフィー用反射マスクの作製
• 縮小露光光学系・照明光学系の設計(EUV基盤技術とその応用の現状)
• 使用波長による光学系の計測評価(EUV基盤技術とその応用の現状)
• 結像素子・光学機械

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