岡崎 信次 | 技術研究組合 極端紫外線露光システム技術開発機構

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概要

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• 技術研究組合 極端紫外線露光システム技術開発機構の論文著者

関連著者

• 岡崎 信次

  技術研究組合 極端紫外線露光システム技術開発機構

• 岡崎 信次

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構

• 西山 岩男

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構(aset) Euvプロセス技術研究室

• 小川 太郎

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構(ASET)EUV 研究室

• 村上 勝彦

  (株)ニコン 技術開発本部

• 村上 勝彦

  (株)ニコン 精機カンパニー

• 村上 勝彦

  (株)ニコン コアテクノロジーセンター

著作論文

• ASETにおける100nm以降のリソグラフィ研究
• EUVリソグラフィー技術開発の現状(IT革命に向けたリソグラフィー技術論文)
• リソグラフィー技術:露光装置の原理とレジストプロセス技術
• 半導体リソグラフィ技術の進展とEUVリソグラフィの開発状況
• リソグラフィー技術の将来展望
• 2.EUVリソグラフィと露光装置(リソグラフィ用EUV(極端紫外)光源研究の現状と将来展望)
• EUV露光技術の開発と放射光の役割
• EUVリソグラフィ技術の位置付けと開発動向
• 光リソグラフィー技術の限界と極端紫外リソグラフィー技術への期待 : その開発の経緯と今後の展開

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