寺山 暢之 | 神港精機株式会社 装置事業部 真空装置技術部 開発課

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概要

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論文 | ランダム

• AFMによる薄膜の機械的特性の評価方法(ナノ・マイクロトライボロジー)
• 金属ドープカーボン薄膜の電気的・機械的特性
• カーボン薄膜の機械的特性に及ぼす熱処理の影響 : (その2)AFMスクラツチ評価
• カーボン薄膜の機械的特性に及ぼす熱処理の影響(その1) : ナノインデンテーション評価
• カーボン薄膜のナノインデンテーション特性に及ぼす膜厚の影響

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