小寺 雅子 | (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

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• 小寺 雅子

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• 小寺 雅子

  (株)東芝

• 南幅 学

  (株)東芝ULSI研究所

• 南幅 学

  (株)東芝研究開発センター

• ジュセッペ ペッツォッティ

  京都工芸繊維大学工芸学部物質工学科

• ペッツォッティ ジュセッペ

  京都工芸繊維大学 工芸学部物質工学科

• 柿沼 繁

  (株)堀場製作所開発センター

• 高橋 琢視

  (株)東芝セミコンダクター社

著作論文

• 多孔質低誘電率膜CMP時の誘電率評価(配線・実装技術と関連材料技術)
• Cu配線構造における応力解析(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)

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