SATO Masaaki | NTT LSI Laboratories

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概要

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• 同名の論文著者
• NTT LSI Laboratoriesの論文著者

関連著者

• ARITA Yoshinobu

  NTT LSI Laboratories

• SATO Masaaki

  NTT LSI Laboratories

• 加藤 愼一

  Nttマルチメディアネットワーク研究所

• Kato Shin'ichi

  Ntt Lsi Laboratories

• Ohno Kazuhide

  Ntt Lsi Laboratories

• Arita Y

  Ntt System Electronics Lab. Kanagawa Jpn

著作論文

• Al-Cu Alloy Etching Using In-Reactor Aluminum Chloride Formation in Static Magnetron Triode Reactive Ion Etching
• Effect of Gas Species on the Depth Reduction in Silicon Deep-Submicron Trench Reactive Ion Etching
• Reactive Ion Etching of Copper Films in SiCl_4 and N_2 Mixture
• Novel Static Magnetron Triode Reactive Ion Etching

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