Kato Shin'ichi | Ntt Lsi Laboratories

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概要

• 同名の論文著者
• Ntt Lsi Laboratoriesの論文著者

関連著者

• 加藤 愼一

  Nttマルチメディアネットワーク研究所

• ARITA Yoshinobu

  NTT LSI Laboratories

• Kato Shin'ichi

  Ntt Lsi Laboratories

• SATO Masaaki

  NTT LSI Laboratories

著作論文

• Effect of Gas Species on the Depth Reduction in Silicon Deep-Submicron Trench Reactive Ion Etching

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